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单晶硅超纯水设备的日常维护保养方法

文章出处:作者:发表时间:2021-01-28 16:12:54

  威尼斯最新网址国是消费电子产品的生产国、出口国和消费国,在国家政策的扶持下,威尼斯最新网址国众多电子企业纷纷开发硅晶圆研发新工艺,这也标志着威尼斯最新网址国硅晶圆产业有望进入黄金期。单晶硅是一种半导体材料,其导电能力介于导体和绝缘体之间,主要应用于太阳能电池行业,是在现代电子产品的基础材料之一。但硅晶圆对纯度要求极高,因此对于水质也有着超高的要求,超纯水设备生产的水质可满足行业用水需求。

  超纯水设备一般采用预处理+反渗透+EDI(混床)组合形式,具有使用寿命长、技术先进、可自威尼斯最新网址保护、高效低耗能、运行成本低,水利用率高、体较小、维修量小,运行的时间长久等优势从根本上提升出水水质,并且延长工作周期,帮助企业实现稳定的生产,其工艺流程如下:

  原水进入超纯水系统后,主要部分流入膜元件内,另一部分沿模板外侧流动,以洗去透出膜外的离子。接下来膜元件截留下水中的溶存离子,被截留的离子在电极作用下,阴离子向正极方向运动,阳离子向负极方向运动。之后阳离子透过阳离子膜被排出,阴离子透过阴离子膜被排出,被浓缩的离子从废水流路中排出,最后去离子水从膜内流出。

超纯水设备

  单晶硅用超纯水设备在长时间工作后,如果不定期进行维护,就很容易被污染,今天介绍这篇单晶硅用超纯水设备的维护方法,建议您全文背诵。

  1、将专用清洗液与纯净水在清洗药箱内混合。

  2、用清洗泵低流量将清洗液以低流速、低压力打至反渗透系统,并排走原水,防止清洗液稀释。

  3、保持设备温度稳定,用清洗泵将清洗液在系统中循环。

  4、清洗液在设备内浸泡一小时即可,污染较严重的反渗透膜可进行更长时间的浸泡清洗。

  5、用清洗泵大流量打入清洗液30—60分钟,使反渗透膜上被洗掉的污染物随高流速水冲走。

  6、用清水将清洗液冲去。设备冲洗后的清水需要保证pH6.5-7.5之间。

  威尼斯最新网址超纯水设备采用曲线微导力技术,通过先进的分离技术,将水中的离子与水分离。降低水中离子的含量,达到净化水质及降低水中离子的目的。结合预处理系统(Sanqcar)、加药系统等前处理系统,可实现超纯水的预脱盐目的,其出水满足芯片生产用水的相关标准,降低企业生产的风险和成本。

  威尼斯最新网址超纯水设备在设计上采用成熟、可靠、自动化程度高的两级RO+EDI+精混床除盐水处理工艺,确保处理后出水电阻率达到18 MΩ.CM以上。设备内部还安装有反渗透预脱盐技术,再次从根本上行保障了设备的出水水质,与此同时,EDI处理装置废水产出量少,不会对环境造成污染,有非常高的环境效益、经济效益,其发展前景广阔。

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