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超纯水设备确保芯片加工用水纯净度

文章出处:威尼斯最新网址作者:威尼斯最新网址发表时间:2022-07-26 16:01:02

  据中国半导体协会(CSIA)统计,中国有一千六百多家本地半导体公司,全球市场份额也上升到13%。除了当地企业,越来越多的跨境企业从事半导体业务。另一项统计数据显示,自今年以来,5万多家主营业务与半导体无关的企业在中国注册了半导体业务。

  芯片相当于电子工业的大脑。虽然它只有指甲那么大,但数十亿纳米晶体管应该放在芯片板上。在芯片生产中,超过80%的工艺需要化学处理,每种化学处理都离不开水。集成电路集成度越高,对水质的要求就越高。因此,芯片行业对生产用水的水质有非常严格的要求。一旦水质不合格或水中含有杂质,设备的性能和产量就会降低。因此,超纯水需要用于芯片生产。

超纯水设备

  威尼斯最新网址采用双反+EDI+抛光混合床组合工艺:反渗透系统采用反渗透膜元件,利用反渗透原理去除水中溶解的盐、有机物、胶体和大分子。降低水质中的离子含量。EDI是一种结合离子交换膜技术和离子电迁移技术的超纯水制造技术,无酸碱再生。这是一种新的脱盐方法。EDI系统处理超纯水无回收化学品,运行成本低,EDI系统自动化程度高,连续运行,水质好,稳定,出水电阻率高≥15mω·cm。超纯水处理系统末端净化器采用抛光混合床。半导体级混合床离子交换树脂的设计和生产可将水中的离子含量降低到PPB水平,出水电阻率可达18.2MΩ.cm。确保芯片生产用水的纯度就足够了。

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